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- 清华大学的机器人专家团队与来自北京航空航天大学的三位同事合作，设计了一种新型微型机器人，该机器人可以不断改变其形状并“锁定”为特定配置。在他们发表在《自然机器智能》杂志上的论文中，该小组描述了他们设计的因素、微型机器人的功能以及它们的可能用途。新型微型机器人功能的关键是该团队开发的薄膜形状小型致动器——它是通过在硅晶片上旋转一层硅胶涂层，然后在基板上转移印刷聚酰亚胺薄膜制成的。然后，使用电子束蒸发、光刻和铜层的湿法蚀刻添加一层铜。它是用激光切割完成的。当添加传感器、电机和类似乐高积木的积木时，该致动器允许
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薄膜致动器 微型机器人
薄膜致动器介绍
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